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电子信息工程学院首篇学术论文入选ESI高被引论文

发布日期:2026-03-19 浏览量:

电子信息工程学院首篇学术论文入选ESI高被引论文

-Design and optimization of a high-efficiency MPCVD reactor for 4-inch diamond film deposition based on steady-state Multiphysics modeling

 

近日根据科睿唯安(Clarivate)基本科学指标数据库(ESI)最新数据,我教师张文聪2025年发表的研究论文入选ESI高被引论文。ESI高被引论文(Highly Cited Paper)是指近10年内发表且被引次数位列相应学科领域全球前1%的论文。

该论文题为《Design and optimization of a high-efficiency MPCVD reactor for 4-inch diamond film deposition based on steady-state Multiphysics modeling》,发表于国际期刊《Diamond and Related Materials》。论文聚焦大尺寸金刚石薄膜制备过程中沉积面积受限、微波能量利用率不高和放电稳定性不足等关键问题,提出了一种支持TM01TM02混合模式的高能效MPCVD反应器设计方案,并建立了稳态多物理场模型。研究结果表明,优化后的反应器可实现4英寸等离子体的稳定产生,微波能量效率超过94%,为大尺寸金刚石薄膜沉积装备提供了新的仿真模型设计方案

论文由贵阳学院、四川大学、太原科技大学和法国图卢兹大学等单位合作完成,贵阳学院为第一完成单位。研究工作得到了国家自然科学基金、贵州省高层次创新人才培养项目、贵州省研究生科研基金等项目支持。该论文入选ESI高被引论文,体现了我在相关研究领域持续提升的科研创新能力和学术影响力。

 

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